论文提出氮化硅量子器件从制造到实验台工艺流程

1. 12:00
   arXiv · quant-ph

   研究团队提出从制造到实验台的氮化硅量子器件工艺流程

   研究团队提出面向氮化硅量子器件的“从制造到实验台”流程，采用内部化学计量配方进行器件制造，并表征光学损耗和材料性质。基于器件折射率，团队模拟了微环谐振器，展示了其用于生成光学孤子的应用；当前材料为论文摘要，未说明相关应用是否经过实验验证。

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