条件扩散模型预测FIB铣削纳米制造偏差

Wenhan Zhang、Ben Mills、Oleksandr Buchnev和Kevin F. MacDonald在arXiv发布论文预印本，提出一种条件扩散模型，根据输入设计预测聚焦离子束（FIB）铣削输出的结构分布，而非单一确定结果。 背景是FIB铣削制备的微纳结构总会因烧蚀率波动、再沉积等系统性和随机性效应偏离输入设计。基于论文摘要，作者报告该模型能再现实验样本中的边缘形貌、线宽变化和缺陷概率，并用于分析铣削性能及识别与结构和工艺参数相关的变形模式。 该工作目前处于论文预印本阶段，具体评估细节和限制在材料中未说明。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。